1、管道材料属性

在输送高气管道方面，影响气体质量的管材材料的主要特点是气体渗透性、火器率、吸附性、表面粗糙度和耐磨性、耐蚀性。

2、气体渗透性

气体通过物料从高压(或分压)侧流向低压(或分压)侧的现象，成为气体渗透。由于空气中氧气和氮气的分压大，气体分子相对较小，所以管道材料的气体渗透率主要表现为氧气和氮气的渗透率，一般氧气渗透率测试很多。对于输送纯度在ppm级以上的气体，从气体渗透的角度考虑，应使用不锈钢管或钢管。如果我们不当选择不合格的管道材料，无论我们采取什么净化措施，都无济于事。

3、出气速率

材料冶炼过程中形成的管材晶间或晶格内部有高纯气体运输过程中缓慢释放并污染高纯气体的杂质。特别是杂质需要ppb以上的高纯气体。通常低碳不锈钢管道的花期很低。

4、吸附性

水分等杂质是性分子，所以吸附性很强。橡胶、塑料或某些表面粗糙的材料容易吸附水分等杂质，铜对水的吸附性很强，使用这些物质输送高纯气体容易污染。除了输送ppm级以下的氧气外，使用铜管外，高纯气体不使用铜管和塑料管。